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实现功能: 集成电动功率调节，密封光路，光束扩束，快门，CMOS观测，电动工作台，样品夹具，以及控制软件等。同超快激光器配合可实现多种微加工模式。
Newport
μFAB-G采用大理石主体框架，可提供更为出色的整体机械稳定性。这在高精度材料加工，如FBG光纤布拉格光栅刻写和高精度双光子聚合结构制备中尤为重要。
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带有背光和直射两种照明方式，在光纤等微小器件加工中，提供很好的照明，可清晰监测加工过程。
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加工控制软件可以进行2D和3D设计，并允许导入第三方设计软件文件，例如可以导入2D
(BMP)和3D(STL)文件，以实现各种复杂结构微加工的能力。
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内部关键性元部件及位移平台由Newport高性能产品搭建，本地技术团队可提供快速专业的售后服务。
技术参数：
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长行程电动位移台
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行程范围
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100 x 160 x 4.8 mm
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最小可控位移（X/Y轴）
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≤10 nm
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定位精度（X/Y轴）
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≤1.5
um(+/-0.75 um)
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双向重复精度（X/Y轴）
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≤0.08
um(+/-0.04 um)
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单向重复精度（X/Y轴）
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≤0.05 um
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最大速度（X/Y轴）
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300 mm/s
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最小可控位移（Z轴）
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<60 nm
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定位精度（Z轴）
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3 um(+/-1.5 um)
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单向重复精度（Z轴）
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0.3 um
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最大速度（Z轴）
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5 mm/s
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高精密压电物镜位移台
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行程范围（闭环控制）
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500 um
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位移分辨率（闭环控制）
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12 nm
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重复精度
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13 nm
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聚焦物镜
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物镜1
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4X, 0.1NA, 800nm/400nm, general purpose
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物镜2
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40X, 0.75NA, 800nm/400nm, FBG, TPP, Cutting
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物镜3
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63X, 1.4NA, 800nm/400nm, High resolution
TPP
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物镜4
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40X, 0.5NA, 266nm processing
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其他功能
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激光波长适用范围
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800 nm, 400 nm, 266 nm (通过更换内部光学元件实现)
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光斑大小
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<1um （使用配备的高数值孔径物镜聚焦）
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快门
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集成机械式快门，响应时间2毫秒
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集成实时监控
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LED照明，CCD实时监测
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集成电动功率调节
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支持，通过系统软件自动控制
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集成曝光时间控制
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支持
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集成光束整形
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支持
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笔记本电脑
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提供
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软件
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系统自带控制软件，终生免费升级
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内部结构图
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